工作電壓
220V AC, 50/60Hz， 單相

最大功率
4KW

腔體環境

殼體材料: 304不銹鋼
尺寸: 3600m(L) 區800m(W) x 930mm (H)
不銹鋼腔體
前窗為12m厚的雙層玻璃,具有抗腐蝕性,使客戶操作更加安全和方便
水含量:<1 ppm (20°C, 1 atm)
氧含量:<1 ppm (20°C, 1 atm)

漏氣率
<0.05 Vol% / hr (根據手套箱內氧的含量來測定)主前級室尺寸385mm(Dia.) x 588m(L)

使用氣體

負前級室尺寸: 150mm (Dia.) x 300mm (L)
最大真空度: 100 Pa
a)工作氣體: N2、 Ar、He等惰性氣體
b)控制氣體:壓縮空氣或惰性氣體、
c)還原氣體:工作氣體和氫氣(H2)的混合氣。
如果凈化系統只有除水功能的，還原氣體與工作氣體相同

氣體凈化系統
德國BASF除氧材料. ,美國UOP高效吸水材料，凈化系統再生過程自動控制，自動除水除氧功能;可長期、持續維持氣體純度:水<1ppm, 氧<1ppm

過濾系統
有機溶劑過濾系統:內裝可更換優質高效活性炭，與HEP A過濾器二合
水探頭:采用美國GE品牌，0~1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1 ppm
氧變送器:采用美國AII品牌，0~1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1. ppm

控制系統
壓力傳感儀:采用美國setr a品牌，-2500~2500P a觸摸屏顯示，精度土1Pa控制系統: SIEMEns彩色觸摸屏(6寸)，PLC控制系統，中英文雙語可切換

真空泵
配有一-個抽氣速率為1201/min的雙極旋片真空泵

鼓風機
流速: 90m2 /h

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